Статическое электричество в полупроводниковой промышленности

М. : «Энергия», 1975. − 112 с.
В книге рассмотрены процессы образования, накопления и рассеивания электростатических зарядов. Анализируются причины электризации и условия разрядов статического электричества в полупроводниковом производстве. Приводятся результаты экспериментальных исследований воздействия электростатических разрядов на структуру и элементы конструкций полупроводниковых изделий. Рассмотрены методы электростатических измерений. Даны рекомендации по методам устранения причин электризации, снижения степени генерации и накопления электростатических зарядов. Приводятся методы защиты полупроводниковых изделий от разрядов статического электричества.
Книга предназначена для специалистов, занимающихся производством и эксплуатацией полупроводниковых изделий и радиоэлектронной аппаратуры.